Chuck Folúis SiC Póiriúil le Tacaíocht Mhiotail le haghaidh Láimhseáil Sliseog Chasta & Tanaí

Comhcheanglaíonn an chuck folúis ceirmeach miotail-bhunaithe St.Cera ciseal ceirmeach charbaíd sileacain scagach (SiC) le bonn miotail beacht-mheaisínithe (alúmanam nó cruach dhosmálta). Soláthraíonn an t-ábhar scagach SiC (gorm-dubh, scagacht 35–40%, méid na bpoll 20–30 μm, tréscaoilteacht 60 ml/cm²·nóim) dáileadh folúis aonfhoirmeach, mín ar fud dhromchla iomlán an tsliabháin, rud a chuireann deireadh le marcáil imeall agus a chuireann ar chumas tacaíocht neamh-theagmhála do shliseáin tanaí (≤100 μm) nó casta. Cuireann an ciseal SiC leathnú teirmeach íseal (3.5 × 10⁻⁶/℃), cobhsaíocht theirmeach suas le 1000°C, agus neart lúbthachta measartha (32–35 MPa) leis. Cuireann an bonn miotail dolúbthacht struchtúrach, gléasadh éasca trí phoill snáithithe, agus cosaint i gcoinne briste sobhriste leis. Tá an chuck seo oiriúnach le haghaidh meilt chúl, dísliú, agus próiseáil sliseán ardteochta áit a bhfuil comhoiriúnacht folúis agus theirmeach aonfhoirmeach ríthábhachtach.

Sonraíochtaí (bunaithe ar shonraí SiC scagach a soláthraíodh):

Nóta: Tá neart lúbthachta níos ísle ná SiC dlúth mar gheall ar a thréscaoilteacht. Ní hionann airíonna bonn miotail agus boird cheirmeacha.

Iarratais:

• · Meilt chúlbhalla vaiféir tanaí (≤100 μm)
• · Gléasadh vaiféir casta le haghaidh díslithe
• · Súgradh vaiféir ardteochta (suas le 1000°C)
• · Daingneán folúis le haghaidh foshraitheanna scagach nó leochaileacha

Déantúsaíocht:

Pláta SiC scagach (foirmithe le múnlaitheoirí póir, sintéaraithe) → lapáilte go cothrom ≤10 μm → bonn miotail meaisínithe le calafoirt folúis agus gnéithe gléasta → nascadh eapocsa nó clampáil mheicniúil → tástáil sceite héiliam.

Rialú Cáilíochta:

• · Fíoraíodh an tréscaoilteacht agus méid na bpoll le SEM
• · Tástáil tréscaoilteachta (sreabhadh aeir)
• · Cothromas tomhaiste le hidirfhearaiméadar léasair
• · Ráta sceite héiliam <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

Buntáistí thar Chucks Ceirmeacha Grooved nó Dense:

• · Gan aon mharcáil ar an vaiféar – folús aonfhoirmeach gan poill ar leith
• · Póir féinghlantacha – bac laghdaithe
• · Láimhseálann sé vaiféir lúbtha (bogha suas le 500 μm)
• · Coscann bonn miotail bristeadh sobhriste agus simplíonn sé comhtháthú

Teorainneacha:

• · Neart lúbthachta níos ísle (32–35 MPa) – seachain ualach tionchair
• · Teorainn oibriúcháin de 1000°C (SiC scagach), ach teorainn nasc eapocsa bunaithe ar mhiotal de ≤200°C mura bhfuil sé clampáilte go meicniúil
• · Ní le haghaidh folúis ardbhrú (cuireann struchtúr scagach teorainn le difreálach folúis uasta)

Saincheapadh:

• · Bonn miotail: alúmanam (éadrom), cruach dhosmálta (frithsheasmhach in aghaidh creimeadh), Invar (leathnú íseal)
• · Nascadh: eapocsa (≤200°C) nó teanntán meicniúil (suas le 500°C)
• · Fáinne séalaithe imeall le haghaidh rialú folúis crios

Tabhair faoi deara: Tá an neart lúbthachta a sholáthraítear (32–35 MPa) i bhfad níos ísle ná criadóireacht dlúth mar gheall ar a tréscaoilteacht. Láimhseáil go cúramach chun scealpadh imeall a sheachaint.