Chuck Folúis Bunaithe ar Shiliceán Carbíde (SiC) le haghaidh Timpeallachtaí Ardteochta & Plasma
Déantar chuck ceirmeach bunaithe ar SiC St.Cera a mhonarú as cairbíd sileacain ard-íonachta (baisc S1111, SiC 99.72%, Si saor 0.05%). Seachadann sé neart lúbtha tomhaiste de 449 MPa, diana briste de 3.12 MPa·m¹/², agus modúl leaisteach de 457 GPa. Cuireann seoltacht theirmeach tipiciúil an ábhair (120–150 W/m·K) agus leathnú teirmeach íseal (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) rampáil teochta tapa agus íosmhéid luaineachta vaiféir ar fáil le linn timthriall teirmeach. Is féidir an chuck a chumrú mar chuck folúis scagach (sreabhadh gáis aonfhoirmeach) nó mar chuck caighdeánach grooved. Le huasteocht úsáide de 1600–1700°C (gan ualach) agus friotaíocht eisceachtúil in aghaidh creimeadh plasma, tá an chuck seo oiriúnach do phróiseáil vaiféir ardteochta (annealing, RTP) agus seomraí eitseála ionsaitheacha ina ndíghrádaíonn chucks alúmana.
Sonraíochtaí(bunaithe ar thuarascáil tástála SiC S1111 a soláthraíodh & luachanna tipiciúla)):
| Maoin | Luach |
| Ábhar | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Saor) |
| Dlús | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Ionsú Uisce | 0% |
| Neart Lúbthachta | 449 MPa |
| Cruas Briste | 3.12 MPa·m¹/² |
| Modúl Leaisteach | 457 GPa |
| Cruas Vickers | 25–28 GPa |
| Seoltacht Theirmeach | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ |
| Uasteocht Úsáide (gan ualach) | 1600–1700°C |
| Cothrom (os cionn 300mm) | ≤5 μm |
| Críochnú Dromchla | Ra ≤0.4 μm (lapáilte) |
Iarratais:
● Smáladh ardteochta (annealing, RTP, fás eipitacsach)
● Cíorán eitseála plasma le friotaíocht ard fluairín
● Láimhseáil sceallóga tanaí le téamh/fuarú aonfhoirmeach
● Chuck scagach le haghaidh tacaíocht sceallóga neamh-theagmhála
Déantúsaíocht:
Sintéiriú SiC → meilt chruinn ar chomhréidh agus ar phróifíl an dromchla → foirmiú struchtúir scagach roghnach (le haghaidh chuck folúis) → lapáil → glanadh ultrasonaic. Déantar cigireacht 100% ar gach chuck le haghaidh comhréidh (interferiméadar léasair) agus aonfhoirmeacht folúis (tástáil sreafa).
Rialú Cáilíochta:
● Seiceáil thoisí CMM (trastomhas, tiús, suíomhanna poill)
● Tomhas cothromaíochta de réir ASTM
● Tástáil sceite héiliam (le haghaidh chucks folúis)
● Fíorú neart lúbthachta in aghaidh an bhaisc (tag. tuarascáil tástála)
Buntáistí thar Chucks Alúmana:
● Seoltacht theirmeach níos airde (120–150 vs 32 W/m·K d’alúmana) – aistriú teasa 4 uair níos tapúla
● CTE níos ísle (4.0 vs 7.2 × 10⁻⁶/℃) – laghdaíonn sé strus teirmeach na vaiféir
● Friotaíocht plasma níos fearr – saolré 10 n-uaire níos faide in eitseáil fluairín
● Teocht úsáide uasta níos airde (1600°C i gcomparáid le 800°C d'alúmana)
Saincheapadh:
● Dromchla scagach nó groove
● Trastomhas 100–450 mm, cruinn nó cearnach
● Fáinne séalaithe imeall nó criosanna folúis
● Rogha tacaíochta miotail le haghaidh gléasta ard-docht
Tagann na sonraí meicniúla go léir thuas ón tuarascáil tástála a cuireadh ar fáil (baisc S1111). Is gnách luachanna teirmeacha agus cruas a bheith ann don ghrád SiC seo. Éilíonn chucks SiC scagach próiseáil bhreise; déan fiosrú le do thoil maidir le infhaighteacht mhéideanna scagach agus scagach ar leith.
