Fáinne Ceirmeach Alúmana Ard-Íonachta do Sheomraí Próisis CVD / PVD

Tá fáinne ceirmeach St.Cera deartha go sonrach lena úsáid i seomraí próisis CVD (Taisceadh Ceimiceach Gaile) agus PVD (Taisceadh Fisiceach Gaile). Déanta as 99.8% alúmana ard-íonachta (Al₂O₃), feidhmíonn an fáinne seo mar líneáil seomra, fáinne fócais, nó comhpháirt trealaimh phróisis chun plasma a choinneáil agus ballaí an tseomra a chosaint ó chreimeadh. Cuireann an t-ábhar friotaíocht plasma den scoth, neart tréleictreach ard (15 × 10⁶ V/m), agus cobhsaíocht theirmeach suas le 1600°C ar fáil, rud a chinntíonn saolré seirbhíse fada i dtimpeallachtaí plasma ionsaitheacha atá bunaithe ar fhluairín. Cuireann lamháltais thoisí beachta (±0.05 mm ar ID/OD) agus cothrom (≤10 μm) suíomh imeall vaiféir comhsheasmhach ar fáil, rud a fheabhsaíonn aonfhoirmeacht an taiscthe agus a laghdaíonn giniúint cáithníní.

Sonraíochtaí (bunaithe ar 99.8% Al₂O₃):

Iarratais:

• · Fáinní fócais seomra CVD agus fáinní imeall
• · Fáinní sciath seomra PVD agus fáinní teanntáin
• · Líneálacha seomra agus fáinní clúdaigh a ghreanadh
• · Fáinní coinneála plasma i gcórais eitseála tréleictreacha

Próiseas Déantúsaíochta:

Brú iseastatach → meaisínithe glas → sintéiriú ag 1600°C → meilt ID/OD CNC → lapáil dromchla → glanadh ultrasonaic → cigireacht CMM 100%. Laghdaíonn bailchríoch dromchla thar a bheith réidh (Ra ≤0.4 μm) greamaitheacht cáithníní.

Rialú Cáilíochta:

• · Seiceáil 100% tríthoiseach (ID, OD, tiús, cothromaíocht)
• · Cigireacht treáite ruaime le haghaidh micrea-scoilteanna dromchla
• · Tástáil neart tréleictreach de réir ASTM D149
• · Gan aon athrú datha ná tréscaoilteacht le feiceáil faoin micreascóp 20×

Buntáistí thar Fháinní Miotail nó Grianchloiche:

• · Saolré 5–10 uair níos faide ná fáinní alúmanaim i plasma fluairín
• · Gan aon éilliú miotail i scannáin tanaí
• · Friotaíocht plasma níos airde ná grianchloch (gan aon phoill chreimthe)
• · Coinníonn sé insliú leictreach >10¹⁴ Ω·cm fiú tar éis úsáide fadtéarmaí

Ábhar Malartach — Níotráit Sileacain (Si₃N₄):

I gcás feidhmeanna a bhfuil diana briste níos airde fós (6.2 MPa·m¹/²) agus friotaíocht turraing theirmeach níos fearr (comhéifeacht leathnaithe 3.2 × 10⁻⁶/℃) ag teastáil uathu, tá fáinní Si₃N₄ ar fáil. Mar sin féin, tá alúmana níos costéifeachtaí do fhormhór na bhfeidhmeanna CVD/PVD. Sonraigh rogha ábhair le do thoil agus tú ag ordú.

Saincheapadh:

• · Poill thríd, próifílí céimnithe, nó frithphoill le haghaidh gléasta
• · Dromchla brataithe le Y₂O₃ le haghaidh friotaíocht plasma feabhsaithe (roghnach)
• · Greanadh léasair ar uimhir pháirte/cód bhaisc

Nóta:Leanann na sonraí thuas go docht an tábla airíonna Al₂O₃ a cuireadh ar fáil. Maidir le fáinní Si₃N₄, féach ar an mbileog sonraí Si₃N₄ ar leith a cuireadh ar fáil.