Chuck Folúis Alúmana 12-Orlach le haghaidh Próiseáil Vaiféir 300mm
Tá innealtóireacht chruinn déanta ar an gcluca folúis 12-orlach ó St.Cera as 99.8% alúmana ard-íonachta (Al₂O₃) le haghaidh láimhseáil vaiféir 300mm. Tá dromchla mín-ghroofa (leithead na groove 0.5–1.0 mm, páirc 2–3 mm) ag an gcluca chun dáileadh folúis aonfhoirmeach a chinntiú ar fud an trastomhais 300mm ar fad. Coinnítear cothrom laistigh de 5 μm, rud a chuireann ar chumas socrú vaiféir saor ó dhlúth a dhéanamh le linn díslithe, meilt chúl, agus cigireachta. Ráthaíonn neart lúbthachta ard an ábhair (361 MPa) agus cruas (16 GPa) cobhsaíocht fhadtéarmach tríthoiseach fiú faoi thimthriallta folúis arís agus arís eile.
Sonraíochtaí (bunaithe ar 99.8% Al₂O₃):
| Maoin | Luach |
| Trastomhas | 300 mm (12 orlach) |
| Ábhar | 99.8% Alúmana (Eabhair) |
| Dlús | 3.93 g/cm³ |
| Neart Lúbthachta | 361 MPa |
| Cruas Vickers | 16 GPa |
| Cothrom (os cionn 300mm) | ≤5 μm |
| Leithead na Clais | 0.5–1.0 mm |
| Uasteocht Oibriúcháin | 800°C |
| Neart Tréleictreach | 15×10⁶ V/m |
Iarratais:
Dísliú agus scríobadh vaiféir 300mm
Meilt chúl na vaiféir (tacaíocht vaiféir tanaí)
Cigireacht agus scrúdú optúil
Clucaí nasctha/dícheangailte sealadacha
Déantúsaíocht:
Meilte agus lapáilte CNC go dtí an cothrom deiridh, gromtha le rothaí diamant, glanta go ultrasonaic, agus pacáilte i seomra glan Aicme 100. Déantar cigireacht 100% ar gach chuck le haghaidh cothromaíochta (interferometer léasair) agus doimhneacht groove (profileometer).
Buntáistí:
Giniúint íseal cáithníní (≤0.05 cáithnín/cm²)
Neamhghníomhach go ceimiceach i leith tuaslagóirí agus aigéid
Dromchla atá sábháilte ó thaobh ESD de (friotachas >10¹³ Ω·cm)
Patrúin phoill folúis saincheaptha agus calafoirt chúl ar fáil.
