Éifeachtóir Deiridh Ceirmeach Bernoulli — Láimhseáil Sliseog Neamhtheagmhála do Sliseoga Tanaí & Leochaileacha

Úsáideann éifeachtóir deiridh ceirmeach Bernoulli St.Cera ardaitheoir aerodinimiciúil chun vaiféir a láimhseáil gan teagmháil fhisiciúil. Déanta as alúmana 99.8% ard-íonachta (Al₂O₃) nó cairbíd sileacain (SiC), tá soic meaisínithe go beacht ann a scaoileann gás brúite chun scannán tanaí aeir a chruthú idir an t-éifeachtóir deiridh agus an vaiféar. Cuireann an prionsabal neamh-theagmhála seo deireadh le truailliú cúil, scealpadh imeall, agus damáiste dromchla, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do vaiféir tanaí (≤100 μm), leochaileacha, nó casta. Soláthraíonn an tsubstráit ceirmeach neart lúbthachta ard (361 MPa le haghaidh Al₂O₃; suas le 550–600 MPa le haghaidh SiC), mais íseal, agus cobhsaíocht tríthoiseach den scoth, rud a chinntíonn suíomh in-athdhéanta i róbait aistrithe vaiféir ardluais.

Nóta ar Ábhair:Is é alúmana (Al₂O₃) an t-ábhar is mó a úsáidtear le haghaidh éifeachtóirí deiridh ceirmeacha i láimhseáil sliseán leathsheoltóra mar gheall ar a chomhcheangal den scoth de chruas, insliú leictreach, cobhsaíocht cheimiceach, agus éifeachtúlacht costais. Cuireann cairbíd sileacain (SiC) seoltacht theirmeach níos airde, cruas níos airde, agus friotaíocht caitheamh níos fearr fós ar fáil do na feidhmchláir is déine. Cé go dtugann siorcóinia cobhsaithe le itria (ZrO₂) diana briste ard ag teocht an tseomra, ní úsáidtear go coitianta é san fheidhmchlár seo mar gheall ar a dlús níos airde agus a shaintréithe leathnú teirmeach éagsúla; féadfar é a bhreithniú i gcásanna sonracha ina bhfuil diana briste eisceachtúil ag teastáil. Téigh i gcomhairle lenár bhfoireann theicniúil le haghaidh treoir maidir le roghnú ábhar.

Sonraíochtaí(bunaithe ar 99.8% Al₂O₃):

Prionsabal Oibriúcháin:

Soláthraítear aer comhbhrúite nó nítrigin (0.2–0.6 MPa) trí chainéil inmheánacha agus téann sé amach trí shoic bheachta. Cruthaíonn an sreabhadh aeir luathaithe crios ísealbhrú os cionn an éifeachtóra deiridh (éifeacht Bernoulli), rud a ghineann fórsa ardaithe a thacaíonn leis an vaiféar ag bearna 50–200 μm. Ní dhéanann aon phoill folúis ná pillíní teagmháil le cúl an vaiféir.

Iarratais:

• · Láimhseáil vaiféir tanaí (≤50 μm) tar éis meilt chúl
• · Iompar vaiféir lúbtha (m.sh., tar éis CVD nó annealing)
• · Aistriú foshraithe saifír cealla gréine agus LED
• · Uathoibriú seomra glan nach bhfuil aon ghiniúint cáithníní ag teastáil uaidh
• · Láimhseáil painéal gloine i ndéantúsaíocht taispeántais

Próiseas Déantúsaíochta:

Foshraith cheirmeach sintéaraithe ó phúdar ard-íonachta → Meaisínithe CNC 5-ais ar chainéil gháis agus poill soic (trastomhas 0.3–1.0 mm, caoinfhulaingt ±0.01 mm) → lapáil dromchla go Ra ≤0.4 μm → glanadh ultrasonaic → tástáil sceite héiliam (cainéil gháis). Níl aon sciath ag teastáil — tá an dromchla ceirmeach lom támh go ceimiceach agus neamh-thruaillitheach.

Rialú Cáilíochta:

• · Cigireacht 100% tríthoiseach (CMM) ar shuíomhanna na soic, fad na láimhe, agus cothrom na láimhe
• · Tástáil aonfhoirmeachta sreabhadh aeir: titim brú ≤5% trasna na soic uile
• · Tástáil sceite: bealaí gáis séalaithe ag 0.6 MPa, gan aon titim brú thar 30 soicind
• · Cigireacht amhairc faoi mhicreascóp 20× le haghaidh micrea-scoilteanna nó burrs

ABuntáistí thar Éifeachtaí Deiridh Teagmhála Traidisiúnta:

• · Gan aon éilliú ar chúl an tsaiféir — gan aon teagmháil mheicniúil
• · Gan aon scealpadh imeall ná briseadh ar na vaiféir tanaí
• · Láimhseálann sé vaiféir lúbtha (bogha suas le 1 mm) le bearna chobhsaí
• · Deireadh a chur le cothabháil gineadóra folúis agus chuck scagach
• · Seasann tógáil ceirmeach i gcoinne caitheamh agus ionsaí ceimiceach

Saincheapadh:

• · Ar fáil do mhéideanna vaiféir 200 mm, 300 mm, nó saincheaptha
• · Patrúin soic gáis: díreach, uilleach, nó vortex
• · Ábhair: alúmana (caighdeánach) nó carbóid sileacain (le haghaidh an tseoltachta teirmeach agus an fhriotaíocht caitheamh is airde)
• · Fad na láimhe, an flange gléasta, agus suíomh an chalafoirt gháis de réir líníocht an OEM

Teorainneacha:

Tá cur i bhfeidhm phrionsabal Bernoulli (dearadh an tsóic, bearna aeir) lasmuigh de raon feidhme na dtáblaí airíonna ábhartha a chuirtear ar fáil. Leanann na hairíonna meicniúla agus teirmeacha thuas na bileoga sonraí a chuirtear ar fáil go docht le haghaidh 99.8% Al₂O₃. Níltear ag súil le haon laghdú ar fheidhmíocht an cheirmeach faoi shreabhadh gáis faoi bhrú bunaithe ar na hairíonna ábhartha seo. I gcás sliseoga atá íogair do shreabhadh gáis (m.sh., MEMS le struchtúir leochaileacha), ba cheart brú gáis agus dearadh an tsóic a choigeartú dá réir.