Fáinne Fócais Seomra Alúmana Ard-Íonachta le haghaidh Córais Eitseála Plasma & CVD
Is comhpháirt ríthábhachtach de threalamh próisis é fáinne fócais seomra St.Cera a úsáidtear i dtrealamh leathsheoltóra eitseála plasma, CVD, agus PVD. Déanta as 99.8% alúmana ard-íonachta (Al₂O₃), timpeallaíonn an fáinne imeall an vaiféir chun plasma a theorannú agus dáileadh uilleach ian a bharrfheabhsú, rud a fheabhsaíonn aonfhoirmeacht eitseála ar fud dhromchla an vaiféir. Cuireann an t-ábhar friotaíocht plasma eisceachtúil, neart tréleictreach ard (15 × 10⁶ V/m), agus cobhsaíocht theirmeach suas le 1600°C ar fáil, rud a chinntíonn iontaofacht fhadtéarmach i dtimpeallachtaí plasma ionsaitheacha atá bunaithe ar fhluairín nó clóirín. Cumasaíonn ID/OD meilte beacht agus cothrom (≤10 μm) suíomh cruinn imeall vaiféir, rud a laghdaíonn lochtanna imeall agus giniúint cáithníní.
Sonraíochtaí(bunaithe ar 99.8% Al₂O₃):
| Maoin | Luach |
| Ábhar | 99.8% Alúmana (Eabhair) |
| Dlús | 3.93 g/cm³ |
| Ionsú Uisce | 0% |
| Neart Lúbthachta | 361 MPa |
| Cruas Briste | 3–4 MPa·m¹/² |
| Cruas Vickers | 16 GPa |
| Modúl Young | 380 GPa |
| Seoltacht Theirmeach | 32 W/m·k |
| Leathnú Teirmeach (25–1000°C) | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Neart Tréleictreach | 15×10⁶ V/m |
| Friotaíocht Shonrach | >10¹⁴ Ω·cm |
| Uasteocht Oibriúcháin | 1600°C |
Iarratais:
- · Fáinní fócais seomra eitse tréleictreach (eitse ocsaíde, níotráite)
- · Fáinní imeall seomra eitseála sileacain
- · Fáinní trealamh próiseála seomra CVD
- · Sciath seomra PVD agus fáinní teanntáin
Próiseas Déantúsaíochta:
Déantar púdar alúmana ard-íonachta a bhrú go iseastatach → a mheaisíniú go glas go cruth beagnach glan → a shintéiriú ag 1600°C → meilt diamant CNC ar ID, OD, agus tiús → lapáil chun cothromán ≤10 μm a bhaint amach → glanadh ultrasonaic → cigireacht 100% CMM. Laghdaíonn bailchríoch dromchla Ra ≤0.4 μm greamaitheacht cáithníní.
Rialú Cáilíochta:
- · Cigireacht 100% tríthoiseach (ID, OD, tiús, comhthreomhaireacht)
- · Tástáil treáite ruaime le haghaidh micrea-scoilteanna (ní cheadaítear scoilteanna)
- · Cigireacht amhairc faoi mhicreascóp 20× — gan sceallóga, folúntais ná mílí
- · Tástáil neart tréleictreach de réir ASTM D149 (sampláil)
Buntáistí thar Fháinní Fócais Sileacain nó Grianchloiche:
- · Saolré 5–10 uair níos faide i plasma fluairocarbóin
- · Gan aon cháithníní creimeadh inchaite chun na sceallóga a thruailliú
- · Cuireann neart tréleictreach níos airde cosc ar stuaú
- · Coinníonn sé cothrom agus cruinneas tríthoiseach thar na mílte uair an chloig RF
Ábhar Malartach — Siorcóinia Cobhsaithe le hItria (ZrO₂):
I gcás feidhmeanna a bhfuil diana briste níos airde ag teastáil uathu (m.sh., seomraí a bhfuil timthriall teirmeach nó turraing mheicniúil iontu go minic), tá fáinní fócais ZrO₂ (dlús 6.03 g/cm³, neart lúbthachta 1000 MPa, diana briste 5–8 MPa·m¹/²) ar fáil. Mar sin féin, cuireann alúmana éifeachtúlacht costais níos fearr ar fáil agus is é an caighdeán tionscail é do fhormhór na bhfeidhmeanna fáinní fócais.
Saincheapadh:
- · Próifílí céime, frithphoill, nó poill gléasta de réir líníocht an chustaiméara
- · Sciath Y₂O₃ le haghaidh friotaíocht fheabhsaithe i gcoinne creimeadh plasma (tiús 20–100 μm)
- · Marcáil léasair ar uimhir pháirte, cód dáta, nó marcanna ailínithe
Nóta:Leanann na sonraí go léir an tábla airíonna Al₂O₃ a chuirtear ar fáil go docht. Le haghaidh sonraíochtaí ZrO₂, féach ar an mbileog sonraí siorcóinia a chuirtear ar fáil. D’fhéadfadh go mbeadh gá le himréiteach paitinne i ndearaí fáinní fócais — tá custaiméirí freagrach as cearta maoine intleachtúla a fhíorú.








